




特種氣體有哪些?
特種氣體主要包括電子氣體、醫(yī)1療氣體、標(biāo)準(zhǔn)氣體、激光氣體、食品氣體、電光源氣體等,其中,電子氣體廣泛用于集成電路、顯示面板、光伏能源、光纖光纜等電子產(chǎn)業(yè)的加工制造過程,主要包括清洗、蝕刻、光刻、外延、摻雜等,是下游1行業(yè)關(guān)鍵性化工基礎(chǔ)材料,被譽(yù)為電子產(chǎn)業(yè)的“糧食”和“源”,現(xiàn)有單元特種氣體260余種,可配制成25000多種混合氣體。

特種氣體的一般概念
臨界溫度和臨界壓力。因?yàn)槿魏螝怏w在一點(diǎn)溫度和壓力下都可以液化,溫度越高,液化所需要的壓力也越高,但是當(dāng)溫度超過某一數(shù)值時(shí),特種氣體廠,即使在增加多大的壓力也不能液化,特種氣體生產(chǎn)廠家,這個(gè)溫度叫臨界溫度 ,在這一溫度下zui低的壓力就叫做臨界壓力,例如:水的臨界溫度為374.15℃,沈陽特種氣體,臨界壓力為225.65kgf/cm2,工業(yè)特種氣體,氨的臨界溫度為132.4℃,臨界壓力為115.2kgf/cm2。

特種氣體系統(tǒng)的設(shè)計(jì)與施工
供氣系統(tǒng)的選擇
常規(guī)供氣系統(tǒng)
常規(guī)供氣系統(tǒng)主要應(yīng)用于4-6英寸 大規(guī)模集成電路廠,50MW以下的太陽能電池生產(chǎn)線,發(fā)光二極管的芯片工序線以及其它用氣量中等規(guī)模的電子行業(yè)。對氣體純度控制的要求不苛刻,系統(tǒng)配備在滿足安全的前提下盡量簡單,節(jié)省投資。
特種氣體采用普通鋼瓶(<50L)供氣。特氣輸送系統(tǒng)采用氣瓶柜。配置全自動PLC控制器,彩色觸摸屏;氣體面板采用氣動閥門和壓力傳感器,可實(shí)現(xiàn)自動切換,自動氮?dú)獯祾撸詣诱婵蛰o助放空;多重安全防護(hù)措施,泄漏偵測,遠(yuǎn)程緊急切斷;專用氮?dú)獯祾咂鹪吹鹊取?/p>

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